RTS-9型雙電測(cè)四探針測(cè)試儀采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱雙位組合)測(cè)量新技術(shù),將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下進(jìn)行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響進(jìn)行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所生產(chǎn)的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。 |
RTS-9雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下,通過(guò)計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。 測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析 |
技術(shù)參數(shù):
測(cè)量范圍 | 電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:10-5~105 s/cm; 電阻:10-5~105 Ω; |
可測(cè)晶片厚度 | ≤3mm |
可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)); 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)); 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)); |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% |
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) | 采用雙電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),通過(guò)RTS-9雙電測(cè)測(cè)試軟件控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值,然后根據(jù)雙電測(cè)測(cè)試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-8四探針測(cè)試軟件實(shí)現(xiàn)單電測(cè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),兩套軟件可同時(shí)使用。 |
軟件功能 | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,高速并行采集數(shù)據(jù)。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)高頻干擾; 無(wú)強(qiáng)光直射; |
配置 | 四探針測(cè)試儀主機(jī)、S-2A型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭、測(cè)試軟件(含測(cè)控模塊) | 23000/套 | ||||||
配置 | 四探針測(cè)試儀主機(jī)、S-2A型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭、臺(tái)式電腦 | 28000/套 | ||||||
配置 | 四探針測(cè)試儀主機(jī)、S-2A型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭、IBM筆記本電腦 | 38000/套 | ||||||
備注 | 用戶可按實(shí)際需要選擇配置,電腦可按用戶要求以市場(chǎng)價(jià)配置或自行購(gòu)置安裝測(cè)試軟件即可 |
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